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燃料電池機能膜コーティング装置

  (研究開発用小型塗布装置[スプレーコータ])

概要、用途

・サブストレート(ウエーブ)形状に対応した薄膜から厚膜のコーティングを提供し   ます。
・燃料電池用専用として開発設計された小型スプレー式コーティング装置です。
・特殊アトマイジング方式により、最適の微小粒子を積層コーティングします。
・貴重サンプル液が数ccでもコーティング可能です。

特徴
薄膜コーティング装置は微量で貴重な機能材料の研究開発用として開発された装置です。小型軽量であり、ラボテーブル上に設置できるのが特長で移動も簡単に出来ます。特殊ガンバルブは0.1g/minから10g/min程度の微少量の吐出量の調整が可能です。このガンバルブは極微量の液体材料を極微量のガスの圧力エネルギーにより加速し、数μm程度の微粒子を作り出すことが可能です。塗布パターン形状はφ5〜8mm程度の微細パターンであり、燃料電池、MEMS、センサー、マイクロエレクトロニクスのようなウエーブ状・立体形状のサブストレートに対して有効です。形成された微粒子は直線的にサブストレートに衝突し塗布されます。微粒子は均一であり、乾燥状態の揃った粒子を塗布し積層することができので、乾燥状態を促進させたボイドリッチな膜形成に特に適しています。また微粒子のベクトルは垂直なのでアスペクト比の高い精密形状のサブストレートの塗布にも適しています。塗布ソフトは独自開発のXYZの3軸をコントロールするソフトで、簡易的にプログラム設定が可能で、多彩なパターンでコーティングすることができます。コーティング装置の動作範囲はX=300mm、 Y=300mm、Z=100mmであり、スピードは1mm/sec〜300mm/sec、Z軸は1mm/sec〜250mm/secの範囲で調整できます。塗布レシピは記憶、読出しが簡易に可能であり、レシピは担当研究者各人が管理することができ、R&Dの環境で使いやすさを追求しています。